晶圆传送机器人-晶圆传输系统-摩尔发(上海)半导体科技有限公司-MorphSemi

晶圆传送机器人（Wafer Transfer Robot）

我们可以根据您的技术要求支持您的产品选择和机器人开发咨询。

真空机器人(Vacuum Robot)		大气机器人(Atmospheric Robot)

晶圆传输机器人结合了快速交换臂组、连续旋转和专有伺服控制，可提供更高的吞吐量并提高生产率。提供多种配置，可在集群工具中的工艺模块之间以及在实际配置中同时安全地传输单片或多片晶圆。

主要优点：

Vacuum Robot

T0086

	特征用于双处理模块的四臂真空机器人 (4 E/E) 链接类型结构 -高耐热性 - 可用特高压 - 长寿命运行自动巡航功能适用于 CVD/ALD 工艺和 Twinstar 型号
规格
Operating Pressure	1.0 * 10-6 Pa(5*10-9Torr)
Axes	6-Axes (R1-R3, T1-T2, Z)
Range of Motion	R-Axis : 860mm Z-Axis : 145mm T1-Axis : ± 185 deg T2-Axis : ± 10 deg
Minimum Turning diameter	Ф 930 mm
Operation speed	R-Axis : 1.1sec (860mm) Z-Axis : 2.5sec (145mm) Rotation-Axis : 1.5sec (180deg)
AWC	≤±0.1mm
Weight	About 180 kg
Grease	FOMBLIN YVAC1
Repeatability	R : ± 0.1 mm T : ± 0.02 deg. Z : ± 0.1 m
Motor	AC Servo Motor (R/T2 : 100W, T1 : 200W, Z : 400W)

S0636

	特征用于双工艺模块的双臂真空机器人 (2 E/E) 链接类型结构 -高耐热性 -可用特高压 -长寿命运行自动巡航功能适用于 CVD/PVD 工艺和 Maxima 或最优模型
规格
Operating Pressure	1.0 * 10-6 Pa(5*10-9Torr)
Axes	4-Axes (R1-R2, T1, Z1)
Range of Motion	R-Axis : 1050mm Z-Axis : 105mm T-Axis : 370deg(±185deg)
Minimum Turning diameter	Ф860
Operation speed	R-Axis : 1.3sec / 780mm Z-Axis : 3.5sec / 105mm T-Axis : 1.5sec / 180deg
AWC	≤ ±0.1 mm
Weight	About 100kg
Grease	FOMBLIN YVAC1
Repeatability	XY : ±0.1mm Z : ±0.05mm
Motor	AC servo motor (R1/R2/T/Z:200W)

S0677

	特征分支臂结构Scara（带）式结构双手转弯半径最小化，达到最大范围单处理模块的高吞吐量通过 5 轴 L 运动最大限度地减少占地面积真空机器人实时监控自动巡航功能适用于 CVD/PVD/ALD 工艺和 Twinstaror Maxima
规格
Operating Pressure	1.0 * 10-6 Pa(5*10-9Torr)
Axes	5-Axes (R, θ, W1/W2, Z)
Range of Motion	R-Axis : 1050mm Z-Axis : 105mm T-Axis : 370deg(±185deg)
Minimum Turning diameter	Ф860
Operation speed	R-Axis :1.6sec Z-Axis :3.5sec/160mm Θ/W1/W2-Axis :3.9sec
AWC	≤±0.2mm
Weight	About 120 kg
Grease	FOMBLIN YVAC3
Repeatability	X/Y:±0.1mm Z:±0.05mm
Motor	AC Servo Motor (R/Θ/Z:200W, W1/W2:50W)

大气机器人（Atmospheric Robot）

Atmospheric Robot2.jpg

特点及优点

型号S0093

型号S0715

晶圆传输系统